SiO2和Si3N4绝缘性能比较在纳米量级下,同厚度(如30nm)的SiO2和Si3N4绝缘性能哪个更好?为什么?请提供必要的数据支持!禁带宽度SiO2:8.9eV, Si3N4:5.1eV。介电常数

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