高精度薄膜测厚仪原理【相关词_ 高精度薄膜测厚仪】

简介:薄膜测厚仪原理,高精度薄膜专用测厚仪技术指标:测量范围:0～2mm(常规) 0～6mm;12mm(可选)分辨率:0.1μm测量速度:15次/min(可调)测量压力:17.5±1kPa(薄膜);50±1

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