前道和后道光刻机【相关词_ 前道光刻机】

上海微电子装备有限公司能够制造投影式光刻机。在LED、IC后道和平板显示的微米级光刻机都有不少销量。IC前道光刻机分辨力要求较高,目前只能制造百纳米或几十纳米级

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