鳍式场效应晶体管【相关词_ 鳍式】

标题 : 鳍部的制作方法、鳍式场效应晶体管及其制作方法 一种鳍部的制作方法,包括:在半导体衬底上形成图形化的硬掩膜层;接着在所述图形化的硬掩膜层的侧壁形成侧墙;然后

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