第一个大规模集成电路【相关词_ 超大规模集成电路】

超大规模集成电路技术系统地介绍了超大规模集成电路工艺理论和工艺方法。全书共九章,包括光刻、掺杂、氧化及热处理、薄膜工艺基础与物理气相沉积、化学汽相沉积、刻

大规模集成电路计算机

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