半导体硅材料cvd【相关词_ 硅是重要的半导体材料】

碳化硅晶体是一种宽禁带半导体材料,具有优良的透光性。因此,将碳化硅晶体材料作为 研究表明:铝掺杂将影响微晶碳化硅材料的晶化生长;随着铝掺杂浓度的增加,材料晶化率

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