特征尺寸是光刻栅长吗【相关词_ 什么是特征尺寸】

在000年Intel公布了按国际半导体工艺技术标准,达到了称之为130nm接点,90nm栅长在光刻胶上的光刻水平。Intel利用48nm波长,制造特征尺寸90nm的.道客巴巴(doc88.com)是一

亚100nm特征尺寸的纳米球光学光刻-中国光学

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亚100nm特征尺寸的纳米球光学光刻-中国光学

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