基础工艺。每一步工艺生产的说明如下: 第一步:增层工艺。对晶圆表面的氧化会形成一层保护薄膜,它 可作为掺杂的屏障。这层二氧化硅膜被称为场氧化层。 第二步: 光刻工艺

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