晶圆 研磨 目的【相关词_ 晶圆退火的目的】

在晶圆片制备过程中,传统的研磨工艺是把需要研磨的晶圆片用石蜡直接粘在夹具(例如石英玻璃)上进行背面研磨。研磨完成之后将晶圆片从夹具上卸下来,然后通过化学药品(主

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