硅的电阻率【相关词_ 碳化硅电阻率】

第卷第期年月微电子学材尸月,阴·型硅外延层电阻率的控制傅雄强天津市半导体技术研究所,天津,魏稚敏天津市半导体材料厂,天津,摘要计葬表明,型硅外延层的电阻率对其生长

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