问答题论述题什么是扩散效应?什么是自掺杂效应?这两个效应使得衬底/外延界面杂质分布有怎样的变化? 参考答案扩散效应是指衬底中的杂质与外延层中的杂质,在外延生长时

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外延,扩散,离子注入,衬底制备
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【GB\/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子
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GB\/T14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注.
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