大直径碳化硅单晶生长【相关词_ 碳化硅单晶】

[0001]本发明涉及一种大直径碳化硅单晶生长工艺,具体涉及一种控制碳化硅单晶生长径向温度梯度的工艺。 【背景技术】 [0002]目前碳化硅单晶生长都比较成熟的产品都是在

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中科院物理所成功研制6英寸碳化硅单晶衬底(碳

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碳化硅单晶

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碳化硅单晶

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