半导体掺杂如何选择【相关词_ 掺杂半导体】

半导体的常用掺杂技术主要有两种,即高温(热)扩散和离子注入.掺入的杂质主要有两类:第一类是提供载流子的受主杂质或施主杂质(如Si中的B、P、As);第二类是产生复合中心的

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