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三氯氢硅-三氯氢硅 trichlorosilane 化学式SiHCl3。无色液体。高度挥发性，具有辛辣气味，易燃、易爆。对眼

TCS 是 SiHCl3（三氯氢硅）的缩写。三氯氢硅是光伏产业链前段的一种关键化学原料，使用化学沉积方法制备高

又称硅氯仿。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米³；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。

一、三氯氢硅的基本性质三氯氢硅在常温常压下为具有刺激性恶臭、易流动、易挥发的无 色透明液体。

三氯氢硅的物理化学性质和MSDS说明，包括别名、英文名称、生产方法、储运、用途、熔点、沸点、CAS号、分子

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在高温条件下，三氯氢硅能被氢气还原生成硅 SiHCl3+H2=1357K=Si+3HCl 液体用玻璃瓶或金属桶盛装，容器要

中文名：三氯氢硅 外文名：Trichlorosilane 化学式：SiHCl3 熔点：－126.5℃ 沸点：33℃ CAS：10025-78-2