集成电路硅片颗粒【相关词_集成电路大硅片】

本发明公开了一种集成电路硅片表面颗粒清除方法,该方法将硅片表面带电,使其表面及其颗粒带上同一电荷;在硅片表面正对面设置一反电极,将带电颗粒吸引到该反电极上,达到

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