亚纳米级光学零件加工【相关词_亚纳米】

由国防科技大学机电工程与自动化学院自主研制的新一代超精密光学零件加工设备,日前通过相关单位组织的工艺考核。考核结果表明,该套设备加工精度实现亚纳米级重大突破

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