刻蚀机包括干刻、湿刻!镀膜包括CVD,PVD,磁控溅射!说说国内哪个最好,各项国内处于 差距最大的是光刻机,差距相对小的是镀膜和蚀刻。有空再详细补充。显影机说法不准确

光刻机
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