上海微和荷兰ASML在光刻机上的差距客观上反映了中国和西方在精密制造领域的差距,一台顶级光刻机的关键零部件来自不同的西方发达国家,美国的光栅,德国的镜头,瑞典的轴
28-14纳米光刻机Ready,华虹六厂12英寸4万片
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ASML垄断EUV光刻机:单价超1亿美元,中国再有
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光电所自主研制成功紫外纳米压印光刻机
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厉害了:中国研究团队自主研发首套90纳米高端
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坏消息!购买最先进光刻机有保留条款!竟不能
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7纳米光刻机有救了!中芯国际的EUV 7纳米光刻
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单台破亿 光刻机何以如此金贵-AET-电子技术应
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【讨论】EUV光刻机价格暴涨至近亿美元(这才
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SMEE 300系列光刻机 进军LED产业
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