蚀刻工艺【相关词_金属蚀刻工艺】

简介:蚀刻技术主要对各种薄膜以及体硅进行加工,通常有湿法腐蚀工艺和干法刻蚀工艺,薄膜的湿法腐蚀技术对衬底具有高的选择比,一般是各向同性的腐蚀方式,硅的KOH湿法腐

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