金刚石物理气相沉积机【相关词_物理气相沉积】

摘要:在物理气相沉积过程中,触发真空间隙是整个试验过程中最基本的一步,很多因素影响真空间隙的成功触发,本文对此加以讨论,并提供一下合适的触发电路。 优质期刊推荐

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