薄膜技术—2真空技术基础主要内容 1.真空概念 2.真空中气体的表征 3.真空中气流与流导 4.真空泵原理及种类 5.真空测量原理及种类什么是真空?一、什么是真空? •在真空科

薄膜制备技术基础 - PDF电子书下载
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