薄膜的应变【相关词_薄膜应变片】

半导体应变计中用薄膜作敏感栅的称为薄膜应变计。它是将金属、合金或半导体材料,用真空镀膜、沉积或溅射方法,在绝缘基底上制成一定形状的薄膜,其厚度从几十纳米至几万

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