半导体cvd过程化学反应【相关词_半导体cvd】

(CVD)是一个通过气体产生固体的过程。CVD中的化学反应系统可以通过反应生产各种材料,包括有机和无机材料,金属和非金属化合物,氧化和非氧化材料,电导体、半导体以及

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