薄膜的形貌粗化演变可用离散小波变换法描述.结果表明,当溅射时间超过600s时,薄膜表面特征趋于致.高频部分的能量主要表征散布在薄膜表面的小颗粒,这些颗粒导致了纳米压

AFM表征薄膜表面形貌 - 高分子 - 小木虫 - 学术
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