硅衬底的优缺点【相关词_硅衬底】

属氧化物半导体)的污染控制要求在工艺线上进行生产(不再需要加入金这种贵金属),进而能够在200mm硅衬底上大批量生产高质量的氮化镓产品.氮化镓是一种极具潜力能替代硅

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