干蚀刻工艺流程【相关词_蚀刻工艺流程】

腔室110为干蚀刻工艺(例如,反应离子蚀刻工艺)提供反应室。在腔室110的前面,安装有喷淋头120,以便向反应室提供用于形成等离子体的处理气体。为了向腔室110内部均勻的

58金属蚀刻的工艺流程及注意事项|宝安金属蚀

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