扩展电阻_扩展电阻测试

通过测量金属探针与半导体接触形成的扩展电阻,根据已有的扩展电阻与电阻率的校正曲线,获得半导体微区电阻率的电学测量技术。此方法可用于测量半导体器件中载流子浓度

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