砷化镓外延层_砷化镓外延片

本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量,测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω•cm,外延层的电阴率大于0.1Ω•cm。 GB/T 8758-2006 中可能用到的仪器设备

GB\/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测

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【GB\/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度

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《GB\/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉

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