Bicmos工艺 外延_bicmos工艺

intri璐ic印itaxyl引言BiCMOS工艺综合了CMoS和双极工艺于一身,兼容了双极器件高速、高驱动能力与CMOS低功耗、高集成度的优点。外延工艺作为BiCMOS工艺的一项关键

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