晶圆切割cpk_晶圆切割

如果将崩角大小作为评核晶圆切割质量/能力的一个指标,则可用公式来计算晶圆切割能力指数(Cpk)(图3)。 【图3:Chipping Cpk计算方法】 D1、D2代表划片街区中保留完整的

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