半导体制造工艺 历史_半导体制造工艺

图形转移将设计在掩膜版类似于照相底片上的图形转移到半导体单晶片上。光刻的基本 溅射工艺小结工艺集成NMOS晶体管热扩散法制备工艺流程 •集成电路制造工艺可分为

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