磁控溅射镀膜原理_真空磁控溅射镀膜原理

真空磁控溅射镀膜原理 发布时间:08-12-27浏览次数: 磁控溅射原理;电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩

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