微电子工艺cmp_cmp工艺

可作为IC工艺中的CMP研磨料推广使用。 4结论本研究对微电子加工工艺中CMP的主要辅料硅溶胶的制备进行研究,并对以水玻璃为主要原料制得的硅溶胶进行性能表征。研究

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