半导体CMP工艺介绍 SMICIntroduction of CMPChemical Mechanical Polishing-CMP)SMIC目录 CMP的发展史 CMP简介为什么要有CMP制程 CMP的应用 CMP的耗材 CMP M

cmp工艺的基本原理是将待抛光的硅片在一定的
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CMP在集成电路非金属材料平坦化中的应用(II)
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高介电常数栅电介质\/金属栅极的FA CMP技术
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减薄抛光(CMP)工艺 - 外延|芯片 - 新世纪LED论
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《CMP BOOKS机械制造工艺与机床夹具(第3版
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