芯片 集成电路 mems_mems芯片

从事微电子学和大规模集成电路设计技术研究,yallg岖@maiL万方数据第4期尹韬,杨海钢:MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究 1189但是,电容式传感器需要其读出电路

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