finfet 沟道_finfet沟道有效宽度

[0007] 下面结合图3~8说明现有技术中如图2所示FinFET沟道掺杂的具体步骤如下: [0008] 步骤201,图3为现有技术中FinFET制作步骤201的剖面结构示意图,如图3所示,半导体衬

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