光刻机 透镜 磁流_光刻机

【摘要】:根据光刻机的步进运动、同步扫描运动和自然振动的特点,设计了两种形式的宏动运动平台结构图和整个系统精密减振方法,并选用STACIS2000减振器作为系统的主动

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