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光刻机透镜_光刻机

本发明公开了一种光刻机透镜像差的检测方法,包括:第1步,开启入射光发生装置,入射光照射到光栅上,通过光栅的衍射光或反射光照射到透镜上,通过透镜的折射光照射到硅片平

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