中微是唯一打入台积电7纳米制程蚀刻设备的大陆本土设备商。此番央视收录的,就是中微,也是中国自主研发的第一批7纳米芯片刻蚀机,它采用的是等离子体刻蚀技术。利用有化

中微7纳米蚀刻机受关注,国产半导体设备困境如
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大国重器 中微7纳米蚀刻机受关注
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GIK小型等离子清洗蚀刻机系统 台式进口纳米级
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一亿美元一台的光刻机向中国出售,美国将再无
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牛津仪器反应离子蚀刻机。洁净室。纳米技术。
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idwetbench\/oxfordinstruments反应离子蚀刻机。
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