02专项 光刻机 2018_半导体光刻机

或者说分辨率能达到多少? 【中国国产的光刻机最小制程】中国目前国产的光刻机最小制程是90纳米。用90纳米的升级到65纳米不难。但是45纳米就是一个技术台阶了。45

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