深硅刻蚀bosch工艺_bosch刻蚀工艺

深硅刻蚀技术作为高深宽比结构的加工方法已成为国内外的研究热点。由Robert Bosch公司持有专利的交替往复式工艺(Bosch工艺)主要用于深硅刻蚀,是目前应用最广泛也是发

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