国产euv极紫外光刻_euv极紫外光刻机

X射线的波长从0.001nm到10nm。而更小的波长意味着可以减少光波的衍射,利于形成微小清晰的影像。EUV极紫外光刻技术,现今技术相对成熟,光学特性佳,经济性好。而x射线

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