光刻技术的发展前景_光刻技术的发展

摘要:主要介绍了大规模集成电路制造中光刻工艺的技术现状和发展趋势.首先,在调研光刻机的研发和生产情况的基础上讨论了国内外光刻技术的现状;其次,重点分析了目前用于

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