超高真空镀膜 1.历史与发展化学镀膜最早用于在光学元件表面制备保护膜。随后1817年 三极溅射、反应溅射、磁控溅射和双离子溅射等淀积工艺。 2.真空镀膜技术原理[1]真空
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