【摘要】:正薄膜干涉是薄膜的前后两表面的发射光形成的干涉·它的主要应用之一是检查平面的平整程度·其检查精度可达10-8m·一、原理把一个标准样板放在待检查平面

利用薄膜干涉可检查工件表面的平整度.如图(a
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薄膜干涉在科学技术上有很大应用. (1)如甲图是
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劈尖干涉是一种薄膜干涉.其装置如图1所示.将
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