干蚀刻气体_蚀刻气体

近日,北京宇极科技发展有限公司率先在国内实现六氟-1,3-丁二烯(C4F6)的量产,可满足半导体行业对绿色、环保、高效干蚀刻气体的需求。 C4F6主要用于半导体干法刻蚀工艺

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