薄膜存储器_薄膜蒸发器

无疲劳BiTiOBIT基铁电薄膜材料的制备和改性及性能表征方法,阐述了铁电薄膜的种失效机制及铁电薄膜存储器的研究现状,最后提出了铁电薄膜及存储器今后可能的研究方向。

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