第38卷第5期 2001年l0月半导体情报 17集成电路技术发展的物理极限挑战与对策邝小飞 (零陵师专物理系,湖南永州 425006)金湘亮 (中国科学院微电子中心,北京 100029)搐要:

集成电路技术发展的物理极限挑战与对策_CNK
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