碳化硅晶圆研磨垫【相关词_ 碳化硅晶圆】

而且能够通过缩短研磨时间提高量产效率,有望成为备受期待的新一代半导体底板——碳化硅晶圆的实用化技术。除碳化硅外,还可用于加工市场正在快速扩大的白色LED底板材

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