半导体高温推结【相关词_ 高温半导体】

半导体技术杂志。采用局域注入p型离子和高温推结的方式得到高掺杂p~+区和低掺杂p~-区规律性的浓度梯度变化,研制了新型低阳极发射效率二极管。与常规结构二极管相比,

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